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类载板 SLP 与 HDI:减成法到 mSAP 的工艺分界

设计指南2026-10-31三强线路技术团队
类载板 SLP 与 HDI:减成法到 mSAP 的工艺分界

类载板(Substrate-like PCB,SLP)在结构上介于 IC 载板与 HDI 之间:布线密度接近载板,交付形态仍是一块成品板。它和 HDI 的分界不在层数或阶数,而在线路怎样形成。

HDI 制造流程见 HDI 板生产工序;IC 载板的 ABF/BT 材料与封装类型见 IC 载板与类载板。本文只讲减成法与 mSAP 的分界,以及换线后新增的设计输入。

三类板的参数对照

项目HDI(减成法)SLP(mSAP)ABF 载板(SAP)
线宽/线距2/2 mil标准 25/25 µm,进阶 20/20 µm标准 15/15 µm,进阶 10/10 µm
激光孔径0.075 mm标准 φ60 µm,进阶 φ40 µm标准 φ60 µm,进阶 φ40 µm
互连结构1+N+1 至 5+N+5任意层互连(ELIC)积层 / 无芯
层数或厚度4–20 层成品厚 0.6–1.0 mm4–14 层(标准)
交付形态成品板成品板封装载板

数值取自 SKPCB 已部署的 HDI 板 与 IC 载板 页面。SLP 与载板按「工程主导 + 专业载板线交付」,进阶窗口按单次叠构与载板线确认。

减成法:先有铜,再蚀刻掉

减成法从整张铜箔开始,干膜保护线路,其余铜被蚀刻掉。蚀刻液同时向下和向侧面作用,线路截面因此是底宽顶窄的梯形,侧蚀量随铜厚增加。

线宽较大时,侧蚀只占线宽的小部分;线宽降到约 50 µm 以下,蚀刻因子和侧蚀开始主导公差。这时补偿量与线宽本身处在同一数量级,线宽一致性和阻抗都难以收敛。外层成像方式的影响见 LDI 与菲林的细线极限,但成像精度提高并不能消除侧蚀。

mSAP:先定义通道,再把铜镀进去

mSAP(改良型半加成法)的顺序相反:

  1. 在介质上形成很薄的种子铜层;
  2. 干膜曝光显影,露出要做线路的通道;
  3. 图形电镀,把铜镀进通道;
  4. 去膜后闪蚀,去掉通道外的种子层。

线路侧壁由干膜定义,而不是由蚀刻定义,截面接近矩形。闪蚀只需去掉很薄的种子层,对线宽的侵蚀远小于减成法的侧蚀。这就是 SLP 能在成品板尺寸上量产 25/25 µm 的原因。

截面形状为什么影响阻抗

阻抗计算按导体截面建模。梯形截面的上下宽度随铜厚、蚀刻批次变化,同一网络不同位置的有效宽度也会不同。近矩形截面的上下宽度接近,线宽偏差主要来自干膜分辨率与电镀均匀性,阻抗一致性明显改善。

对设计方的影响是:转 SLP 后,叠构计算应使用 mSAP 截面模型,不要沿用 HDI 的蚀刻补偿。阻抗目标与测试方法需要和工程一起重新确认。

孔结构:从阶数到任意层

HDI 按积层阶数组织盲孔,1+N+1 到 5+N+5,激光孔典型为 φ75–100 µm。SLP 以任意层互连为基础,每层都可用激光孔连接,孔径到 φ60 µm(进阶 φ40 µm),叠孔依靠填孔电镀。

孔径缩小后,焊盘也随之缩小,层间对准余量更紧。叠孔与错孔的取舍见 HDI 叠孔、错孔与任意层的制造边界,激光孔电镀纵横比见 激光微孔电镀与纵横比。

什么情况下不必上 SLP

  • 最细线宽在 HDI 窗口内(2/2 mil)即可布通;
  • 主要瓶颈是层数或板厚,而不是单层布线密度;
  • 板厚要求超出 SLP 常见的 0.6–1.0 mm 成品厚;
  • 局部区域高密度,可通过 HDI 加阶或调整 BGA 扇出解决。

SLP 解决的是单层布线密度和面积问题。瓶颈不在这里时,换线只会增加材料与验证工作量。

从 HDI 转 SLP 需要冻结的输入

输入项HDI 时的做法转 SLP 后需要明确
线宽/线距按蚀刻补偿给出给出成品目标值,标明哪些层走 mSAP
截面模型梯形近矩形,叠构计算按 mSAP
阻抗目标按 HDI 模型重新计算并确认测试方法
互连结构积层阶数任意层或局部 mSAP 层
孔径与焊盘0.075 mm 激光孔φ60 µm 或 φ40 µm,对应焊盘尺寸
成品厚度按叠构是否在 0.6–1.0 mm 内
材料FR-4/BT/ABF与载板线确认适用于 mSAP 的介质
验证常规 HDI 验收切片、阻抗与电测项目单独约定

叠构和关键网络确定后,可通过 报价页 提交,工程会在 EQ 中确认哪些层走 mSAP 以及窗口是否需要进阶评审。

小结

HDI 与 SLP 的分界是成线方式:减成法靠蚀刻,约 50 µm 以下侧蚀主导公差;mSAP 用干膜定义通道、电镀成线,截面接近矩形。转 SLP 时,线宽、截面模型、阻抗、孔径和厚度都要按新工艺重新给出,不能沿用 HDI 的补偿习惯。

FAQ

Q:SLP 和 HDI 最根本的区别是什么?

A:成线方式。HDI 用减成法蚀刻铜箔,SLP 用 mSAP 在干膜通道里电镀成线。

Q:为什么约 50 µm 以下减成法难以控制?

A:侧蚀量与线宽处于同一数量级,蚀刻因子主导线宽公差和阻抗一致性。

Q:SLP 能做到多细?

A:SKPCB 已部署规格为 SLP/mSAP 标准 25/25 µm、进阶 20/20 µm,进阶窗口按叠构与载板线逐单确认。

Q:SLP 的板厚范围是多少?

A:已部署的 SLP 关键规格为成品厚 0.6–1.0 mm。

Q:可以只把部分层改成 mSAP 吗?

A:这需要按具体叠构评审。设计数据中应标明每层的成线方式和目标线宽。

Q:SKPCB 有自己的 SLP 产线吗?

A:SLP 与 IC 载板按工程主导、专业载板线交付:DFM 评审、叠构与验证由 SKPCB 工程负责,生产在专业载板线完成。

需要核对这个叠层与 HDI 工艺吗?

层数、盲埋孔与阻抗控制会显著影响良率和成本。发来叠层图,我们给出可制造性意见与优化建议。